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如分子泵无法启动，运行噪音增大，温度或功率异常增加等，在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后，应尽快停泵，送到维修中心进行检修。

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岛津SHIMADZU五轴磁悬浮分子泵维修型号有：

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Shimadzu TMP1103 MP -----Shimadzu TMP1103 MPC

Shimadzu TMP2003 MP -----Shimadzu TMP2003 MPC

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